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EESパッケージ

低価格で、EES(装置エンジニアリングシステム)の導入が可能です。装置の生産性向上の実現にお役に立ちます。
 
概要
  本製品は、装置エンジニアリングシステム(EES)を構築し、装置の生産性向上を実現するためのパッケージです。
装置詳細データ収集・保存・解析するためのプラットフォームを提供し、FDCやAPCといったEES機能を実現します。本製品の動作環境は、Windows2000/XP/Vista/7です。

 
(接続方法:HSMSの場合)
EESパッケージ(接続例)


  特徴
  ・ユーザーによる通信プログラム作成は不要です。必要なパラメータ設定のみ
 でOKです。
・既設システムにも接続が容易です。
メタデータ定義 (パラメータリスト/イベント収集/トレース収集)パラメータ
 値の変化をトリガとしたイベントを定義可能です。
・過去半年のデータ保存が可能。過去にさかのぼってデータ確認ができます。
装置1台に対して、1パッケージです。

 
  機能
  ・指定されたSVID及びAIO・DIOのリアルタイム表示
・S1F3でのサンプリング収集(標準)だけでなく、A/Dコンバータ接続による
 デバイス直接収集が可能(オプション)
・リミットを越えた場合の挙動の選択。(オプション)
・FTP経由にて、CSVデータを送信が可能。(オプション)

    ※解析は、基本的にお客様サイドでお願いします。

 
  導入メリット
  ・エンジニアリング効率の向上。
・スクラップ低減。
・歩留向上。
・装置稼働率向上
 
  リアルタイム表示画面
  チャート表示、バーチャート表示、生データ表示、DIチャート表示、リミットなどをいっぺんに表示できます。
EESパッケージ(リアルタイム画面)
チャート表示画面
選択した項目を重ねて折れ線グラフ表示できます。
項目のデータを計算しウェハ情報と共にデータの最大、最小、平均値、標準偏差及びレンジを表示できます。
EESパッケージ(チャート表示画面)



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