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ＭＥＭＳ圧力センサー高速温特検査装置 |
冷熱プレート内蔵加減圧方式(特許申請中)により、MEMS
圧力センサーを高速で温特計測が出来ます。
また、本冷熱プレート式過熱冷却機構を利用して、圧力以
外の温特試験の時間も大幅に短縮することができます。
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概要 |
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加減圧容器内に冷熱プレートを組み込む事により、ＭＥＭＳ圧力センサーの温度特性計測時間の大幅な短縮を実現しました。
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デモ機（１チャンバー） |
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「MEMS圧力センサ検査装置」は平成20年度の東京都中小企業振興公社の「新製品・新技術助成事業」により開発を致しました。 |
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量産用マニュアルテスト機（４チャンバー） |
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■特徴 |
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・バンププローブの採用により、小さな実装面積を実現。
・冷熱プレートを加減圧容器内に設けた事(特許申請中)により、3温度、各3気圧
テストを60分(安定時間含む)で行なう事が出来ます。
※サンプル数によって時間は前後します。
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■仕様例 |
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※計測条件につきましては、お打ち合わせにより決定致します。
| 温度範囲 |
低温範囲
-40〜0℃ |
常温範囲
+20〜+40 |
高温範囲
+60〜+150℃ |
| 温度分布 |
±1℃以内 |
| 圧力範囲(1) |
13KPa〜120KPa(絶対圧) 圧力ばらつき±0.05KPa以内 |
| 圧力範囲(2) |
1気圧〜6気圧 圧力ばらつき±0.02気圧以内 |
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■液体冷熱プレート（特許申請中）拡大図 |
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