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ＭＥＭＳ３軸加速度センサー検査装置 |
パッケージ形状に合致したプローブ・ソケット／電極に
傷をつけないプローブ・ソケットからインライン自動化
まで、トータルでご提供致します。
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 さまざまなラインアップを準備しております。 |
| ① |
1Gマニュアルタイプ |
MODEL：ACT-4125-M22 |
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| ② |
量産用1Gセルシステム |
MODEL：ACT-4125C |
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| ③ |
低Ｇ印加装置 |
MODEL：CST20G |
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| ④ |
2,000Ｇ印加装置 |
MODEL：CST2000G |
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| 「MEMS加速度センサ検査装置」は経済産業省の平成18年度中小企業・ベンチャー挑戦支援事業のうち実用化研究開発事業補助金の対象事業となりました。 |
| 「MEMS加速度センサ検査装置」は平成18年度の東京都中小企業振興公社の可能性評価制度により推奨事業に選定されました。 |
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1Gマニュアルタイプ MODEL：ACT-4125-M22 |
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ワークの回転テストヘッドの着脱は人手で行い、姿勢制御はプログラム運転です。
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平成18年度経済産業省補助事業により開発
装置仕様
| 温度範囲 |
使用可能周囲温度-40℃～+125℃ |
| チャンバー内寸法 |
400mm(W)×600mm(H)×550mm(D) |
| 姿勢制御範囲 |
θ1･2軸共0～360度 10度ｽﾃｯﾌﾟ |
| 姿勢精度 |
±0.5deg(±0.3deg平均) |
| ボード基板寸法 |
130mm×130mm |
| データ伝送方式 |
無線伝送方式 or ｽﾘｯﾌﾟﾘﾝｸﾞ方式 |
| テスト内容 |
貴社ご要求に合わせて製作 |
| 装置外形寸法 |
1.000mm(W)×1,650mm(H)×1,300mm(D) |
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量産1Gセルシステム MODEL：ACT-4125C |
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1台のチャンバーで低温(-40℃)～高温(+125℃)までを自動的に検査するローダー・
アンローダを装備した自己完結型。異なるロットの混流テストが可能。
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装置仕様
| 温度範囲 |
使用可能周囲温度-40℃～+125℃ |
| チャンバー内寸法 |
400mm(W)×600mm(H)×550mm(D) |
| 姿勢制御範囲 |
① |
θ1･2軸共0～360度 1度ｽﾃｯﾌﾟ
姿勢精度 = ±0.5deg |
| ② |
θ2軸共20～6000.5deg/s等速度回転
回転精度 = ±0.05% |
| ボード基板寸法 |
130mm×140mm(標準) |
| データ伝送方式 |
無線伝送方式 or ｽﾘｯﾌﾟﾘﾝｸﾞ方式 |
| テスト内容 |
貴社ご要求に合わせて製作 |
| 装置外形寸法 |
1.000mm(W)×1,800mm(H)×1,500mm(D) |
| スループット |
①3温度サイクル動作の時約 10万個／月
②3台(3温度専用)運用の時約 100万個／月 |
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低G印加装置 MODEL：CST20G |
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低速域の回転ムラを抑えた独自設計の回転機構により高安定精度のＧ印加が
可能です。
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装置仕様 |
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| Ｇ印加範囲 |
1G～20G |
| 回転速度 |
400rpm Max |
| 回転速度ムラ |
±0.01%以内 |
| 試験温度 |
室温 |
| 装置外形寸法 |
800mm(W)×1,000mm(H)×600mm(D) |
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※恒温槽付き製作可 |
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2,000G印加装置 MODEL：CST2000G |
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等速度回転機構による高Ｇ印加装置です。
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装置仕様 |
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| Ｇ印加範囲 |
1G～2,000G |
| 回転速度 |
3600rpm Max |
| 回転速度ムラ |
±0.1%以内 |
| 試験温度 |
室温 |
| 装置外形寸法 |
810mm(W)×1,380mm(H)×730mm(D) |
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※恒温槽付き製作可 |
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