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膜厚測定装置 |
他社にはない、お客様の運用に合わせた膜厚測定装置を
ご提供致します。
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概要 |
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分光器と光干渉式膜厚解析ソフトを搭載し、各種パラメータの設定をする事により膜厚測定を可能とした非接触式自動膜厚測定装置です。
本解析ソフトは、薄膜の表面及び基板と界面からの干渉波形を解析することで
透明もしくは半透明の薄膜の膜厚、屈折率、吸収係数を、非接触で簡単に自動測定及びマッピング処理することが出来ます。
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■特徴 |
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・ウェハ、ガラス基板だけでなく、その他の
鏡面基板上の膜厚測定が可能。
・薄膜酸化膜、Sio、EG膜、カラーフィルター
等の測定に優れています。
・膜の光学定数を設定する事で、各種の膜厚
測定可能。
・測定ヘッド仕様によって、薄膜から厚膜の
膜厚測定に対応。
・ローダ仕様にもオプションで対応可能。
(カセット、FOUP、ポート数にも相談に
応じます。)
・GEM通信は、オプション。 |
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| 3〜12ｲﾝﾁｳｪﾊ対応の標準機 |
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■基本測定 |
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| 測定波長範囲 |
400nm〜1,000(1,700)nm（波長範囲は仕様による）
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| 測定膜厚範囲 |
150〜50(250)μm（測定範囲は仕様による） |
| 光学定数測定範囲 |
1,000〜5(10)μm（測定範囲は仕様による） |
| 測定時間 |
0.3〜3秒以内（膜種によって異なる） |
| 繰返し再現性 |
±10以内あるいは±0.3%以内のどちらかの大きい数値 |
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■オペレータメイン画面例 |
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測定パターン･座標･条件レシピなど、パラメータ設定に基づいて膜厚測定を行います。
下記画面は、１ポート／ローダー仕様のものです。 |
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■測定データマップ画面 |
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測定したデータを等高図面として表示します。(３次元やリスト表示など設定により可変できます。) |
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